• 無塵室工程

• 無塵室工程

排除空間區域內之空氣微塵粒子、粉塵等污染物，所建造的密閉式空間，並將此空間內之溫度、粒子數（清淨度）、氣流速度與分佈、正負 壓力、噪音與振動，乃至於照明及靜電加以控制之無塵環境。